經(jīng)由光學(xué)變焦鏡頭組系統(tǒng)放大，并使用高分辨率的攝影機(jī)得到影像畫(huà)面，使用InSpec測(cè)量軟件，對(duì)影像像素進(jìn)行分析，獲取影像畫(huà)面中單個(gè)或多個(gè)幾何元素，并根據(jù)像素計(jì)算幾何元素本身的形狀以及位置。

  通過(guò)馬達(dá)和光學(xué)尺控制機(jī)臺(tái)移動(dòng)，得到不同位置的影像畫(huà)面進(jìn)行組合分析，可獲得多個(gè)元素間的相對(duì)位置系，并可通過(guò)拼接不同位置的影像，獲得被測(cè)量工件的整體二維影像圖輸出。

  以二維的影像測(cè)量為主，也可以結(jié)合接觸式探針系統(tǒng)，測(cè)量工件側(cè)面的孔洞或是溝槽等，或是結(jié)合旋轉(zhuǎn)夾頭測(cè)量系統(tǒng)，以旋轉(zhuǎn)的方式測(cè)量軸件，或是結(jié)合激光測(cè)量系統(tǒng)，執(zhí)行高度測(cè)量、快速對(duì)焦以及工件平面度的測(cè)量

  Micro-Vu影像測(cè)量?jī)x可以對(duì)各種復(fù)雜的工件輪廓和表面形狀進(jìn)行精密測(cè)量，廣泛應(yīng)用于光電與太陽(yáng)能、手機(jī)、筆電、電腦及周邊、攝像頭模組、顯示器與觸控面板、橡塑膠、PCB&FPC、醫(yī)療、半導(dǎo)體、航空航天、機(jī)車(chē)/汽車(chē)、精密模具、沖壓、自動(dòng)化及周邊等行業(yè)零配件的檢測(cè)。